深圳欧特维光电科技有限公司

真空万向镜

产品概述:

VQ 系列真空万向镜架是一种用于真空环境下光学元件精密调节的俯仰/偏转（Pan-Tilt）定位器。

其万向节（Gimbal）结构设计可实现：

• 光轴纯旋转运动

• 不改变光路长度

• 不产生光轴平移

每个驱动单元控制一个独立的旋转自由度。

预加载轴承与可调弹簧预紧结构保证：

• 高分辨率调节

• 长期稳定定位

• 优异重复精度

经过优化的材料选择和成熟的机械设计，使其适用于极端环境：

• HV（高真空）

• UHV（超高真空）

• Cryogenic（低温）

• Hard Radiation（强辐射）

可选驱动方式：

• 手动微调螺杆

• 步进电机驱动

• 压电驱动（开环或闭环）

调节范围：±5°

代号	类型	适用环境	分辨率
B	手动微调	HV、UHV、强辐射	0.5 μm
C	步进电机	HV	0.1 μm
A	压电驱动	HV、UHV、强辐射	0.020 μm
D	闭环压电驱动	HV	0.001 μm

小型系列（1"～4"）角度分辨率
1英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	28.5714 (5.8933")	5.7143 (1.1787")	1.1429 (0.2357")	0.0571 (0.0118")
Rx	16.3934 (3.3814")	3.2787 (0.6763")	0.6557 (0.1353")	0.0328 (0.0068")

2英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	16.8067 (3.4666")	3.3613 (0.6933")	0.6723 (0.1387")	0.0336 (0.0069")
Rx	11.6959 (2.4125")	2.3392 (0.4825")	0.4678 (0.0965")	0.0234 (0.0048")

3英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	10.9890 (2.2666")	2.1978 (0.4533")	0.4396 (0.0907")	0.0220 (0.0045")
Rx	8.6580 (1.7858")	1.7316 (0.3572")	0.3463 (0.0714")	0.0173 (0.0036")

4英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	8.6207 (1.7781")	1.7241 (0.3556")	0.3448 (0.0711")	0.0172 (0.0036")
Rx	7.1429 (1.4733")	1.4286 (0.2947")	0.2857 (0.0589")	0.0143 (0.0029")

主要结构特点:
万向节设计（Gimbal Design）
• 共用旋转中心位于镜面前表面
• 光轴旋转时不会产生平移
镜片夹持结构
• 三点接触镜片支撑
• 柔性且牢固夹持
• 降低镜片应力变形
轴承系统
• 双滚珠轴承（小尺寸型号）
• 柔性轴承（大尺寸型号）
• 可调预载
底板结构
• 可直接安装于真空系统
多种执行器方案
可根据应用选择：
A. 压电执行器（高分辨率）
B. 手动执行器
C. 步进电机执行器
D. 闭环压电执行器（最高精度）

产品尺寸范围

小型系列
镜面尺寸：
Mirror Mounts1@3x.png

Mirror Mounts2@3x.png

Mirror Mounts3@3x.png

Mirror Mounts4@3x.png

特点：
• 高真空/超高真空兼容
• 低温兼容
• 强辐射兼容

大型系列
镜面尺寸：
Mirror Mounts5@3x.png

Mirror Mounts6@3x.png

Mirror Mounts7@3x.png

特点：
• 高真空/超高真空兼容
• 低温兼容
• 强辐射兼容
• ±5° 调节范围

大型系列（6"～8"）角度分辨率
6英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	6.0901 (1.2562")	1.2180 (0.2512")	0.2436 (0.0502")	0.0122 (0.0025")
Rx	5.1230 (1.0567")	1.0246 (0.2113")	0.2049 (0.0423")	0.0102 (0.0021")

7英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	5.2743 (1.0879")	1.0549 (0.2176")	0.2110 (0.0435")	0.0105 (0.0022")
Rx	4.5331 (0.9350")	0.9066 (0.1870")	0.1813 (0.0374")	0.0091 (0.0019")

8英寸镜架

轴向	手动B	步进C	压电A	闭环压电D
Ry	4.6512 (0.9594")	0.9302 (0.1919")	0.1860 (0.0384")	0.0093 (0.0019")
Rx	4.0650 (0.8385")	0.8130 (0.1677")	0.1626 (0.0335")	0.0081 (0.0017")

驱动器性能等级

类型	驱动方式	最小分辨率
B	手动	0.5 μm
C	步进电机	0.1 μm
A	压电	0.020 μm
D	闭环压电	0.001 μm

订货信息
型号格式：

型号格式	尺寸	执行器类型	环境等级	真空电缆长度
VQ Gimbal	1"	A：压电	HV（高真空）	标准 1 m
	2"	B：手动	UHV（超高真空）	可定制
	3"	C：步进电机
	4"	D：闭环压电
	6"	OEM
	7"
	8"

特殊应用案例:

Mirror-Mounts8@3x.jpg

强辐射激光扫描镜架
特点：
• ±90°扫描角度
• 0.005°闭环分辨率
• 20°/s扫描速度
• 配置2英寸高辐射镜片
耐受累计辐照剂量：
• 1 MGy
适用场景：
• 核反应堆退役
• 辐射环境检测
• 激光测量系统
• 远程视觉检测