Silver Bullet eXtreme 微型电动执行器
产品特点 • 非旋转式 6 mm 直径输出端 • 提供 13 mm、26 mm 和 52 mm 三种行程 • 亚微米级分辨率 • 结构紧凑、外形纤细 • 适用于宽范围极端环境
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产品采用专用真空步进电机驱动，并集成回零参考开关（Home Reference Switch）。 可提供三种行程规格： • 13 mm • 26 mm • 52 mm 安装接口采用标准： • 9.5 mm 轴径 • 锁紧环固定方式（Fixing Ring）
| 型号编码表 | | SB-X | 行程(mm) | 环境等级 | 回零开关 | | 13 | 26 | 52 | V:真空（>10⁻⁶ mbar） | NCC-R
REED
开关 | NCC-X
Invictus
微动开关 | | HV：高真空（>10⁻⁷ mbar） | | UHV：超高真空（>10⁻⁹ mbar） | | UHVS：超高真空加强版（<10⁻⁹ mbar） | 固体润滑 | | UHVC：超高真空低温版（>10⁻⁹ mbar，温度 >77 K） | 示例:SB-X-13-HV-I
表示：
Silver Bullet eXtreme
13 mm 行程
高真空版本
Invictus NCC-X 回零开关 | 示例:SB-X-26-V-R
表示：
Silver Bullet eXtreme
26 mm 行程
真空版本
Reed 回零开关
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| 项目 | 参数 | 备注 | | 行程（Stroke） | 13、26、52 mm | - | | 分辨率（Resolution） | 51 nm（减速箱版本）- 2.5 μm（直驱版本） | 全步距理论分辨率 | | 最小增量运动（Minimum Incremental Motion） | 1 nm（减速箱版本）- 50 nm（直驱版本） | 在外部测量系统闭环控制条件下可实现 | | 重复定位精度（Repeatability） | ±1 μm | 开环控制 | | ±最小增量运动 | 闭环控制：取决于控制器和测量系统 | | 回零重复精度（Homing Repeatability） | Invictus NCCX 机械微动开关：0.5 μm | - | | 非接触式 NCCR Reed 开关：50 μm | 工作温度范围受限于 0～110°C | | 保持力（Holding Force） | 24 N | 断电时机械自锁 |
机械性能（Mechanical Properties） | 参数 | 数值 | 备注 | | 最大负载能力（Max Load Capacity） | 24 N | 仅允许轴向推力（Push Only），不允许承受侧向力（No Side Force） | | 材料（Material） | 不锈钢（Stainless Steel）、铝（Aluminium）、铜（Copper）、PEEK、陶瓷（Ceramic）、金（Gold） | - |
环境性能（Environmental Properties） | 项目 | V | HV | UHV | UHVS | UHVC | 备注 | | 真空度（Vacuum Pressure） | 10⁻⁶ mbar | 10⁻⁷ mbar | 10⁻⁹ mbar | ＜10⁻⁹ mbar | 10⁻⁹ mbar | | | 烘烤温度（Bake-out Temperature） | 80°C | 200°C* | 100°C | * 推荐选配 Invictus NCCX 微动开关 | | 推荐工作温度（Recommended Working Temperature） | 比烘烤温度低 50°C* | 77 K** | * 可选温度传感器；** 4 K 超低温版本可作为特殊项目定制 |
电气规格（Electric Specifications） | 项目 | V | HV | UHV | UHVS | UHVC | 备注 | | 电机（Motor） | 两相混合式步进电机（Hybrid 2-Phase Stepper Motor），200 步/转 | 两相混合式步进电机，200 步/转 + 49:1 减速箱（Gearbox） | - | | 回零传感器（Homing Sensor） | 常闭触点（Normally Closed Contact），两线制 | - | | 真空侧布线（Vacuum Side Wiring） | Kapton 绝缘编织电缆，开放端连接至真空馈通接口（Feed-through） | 标准长度 3 m，可根据需求提供任意长度 | | 真空馈通（Feed-through） | 连接器需配置 6 个电接点（6 Contacts） | 每套三轴系统配置 1 个馈通接口 |
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