适用于低温环境的大载荷 RodRail 线性平台

主要性能指标

行程范围：25～300 mm 

最大负载能力：100 N 

单向重复定位精度：±15 μm* 

最小步进位移：10 μm 

* 在实际工作条件下，基于测量曲线统计得到的典型值（3σ）。

产品说明

RRX-HL-UHVC 是一款面向低温（Cryogenic）环境的大载荷 RodRail 线性位移平台。

该产品在液氮（LN₂）浸泡环境中采用激光干涉仪（Interferometer）进行了性能测试，并按照超高真空（UHV）应用要求配置测试载荷。