产品简介
Hercules HLS（Heavy Load Stage） 是 VacuumFab 推出的高刚性、高负载、高精度电动线性平台系列，采用钢制机身、
精密循环滚珠导轨和预加载滚珠丝杠结构，适用于工业自动化、半导体设备、精密光学、科研仪器及同步辐射装置等领域。 平台提供： • HLS-S（Small） • HLS-M（Medium） • HLS-L（Large） 三种规格。 支持： • 开环控制 • 闭环控制 • 增量式编码器 • 绝对式编码器 • XY / XYZ 多轴组合
产品系列 HLS-S（Small） 行程范围 | 丝杠导程 | 最大轴向负载 | 最大速度 | 最佳重复定位精度 | 典型应用 | | 25～150 mm | 2 mm | 50 N | 100 mm/s | ±0.1 μm | • 光学调整
• 样品定位
• 实验室自动化 |
| 行程(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | N | | 25 | 127 | 68 | 54,5 | 50 | 1 | | 50 | 152 | 80,5 | 67 | 50 | 1 | | 75 | 177 | 93 | 54,5 | 50 | 2 | | 100 | 202 | 105,5 | 67 | 50 | 2 | | 125 | 227 | 118 | 54,5 | 50 | 3 | | 150 | 252 | 130,5 | 67 | 50 | 3 |
| 电机类型 | A(mm) | | 步进电机 | 44,5 | | 低电感步进电机 | 60,5 | | 直流伺服电机 | 74,3 | | 无刷直流伺服电机 | 65,5 |
| 线性编码器类型 | F(mm) | | 磁栅增量编码器 | 78,5 | | 磁栅绝对编码器 | 81,5 | | 光栅编码器 - 1Vpp | 71,5 | | 光栅编码器 - RS422 | 74,5 |
| Z轴行程(mm) | A(mm) | B(mm) | | 25 | 119 | 198,5 | | 50 | 119 | 211 | | 75 | 144 | 248,5 | | 100 | 144 | 261 | | 125 | 169 | 298,5 | | 150 | 169 | 311 |
HLS-M1 series 
| 行程(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | N | 螺距 | | 35 | 156 | 79,5 | 66 | 60 | 1 | 1 or 5 | | 85 | 206 | 104,5 | 61 | 60 | 2 | 1 or 5 | | 135 | 256 | 129,5 | 86 | 60 | 2 | 1 or 5 | | 185 | 306 | 154,5 | 81 | 60 | 3 | 5 | | 235 | 356 | 179,5 | 76 | 60 | 4 | 5 |
| 电机类型 | A(mm) | | 步进电机 | 56,5 | | 低电感步进电机 | 60,5 | | 直流伺服电机 | 74,3 | | 无刷直流伺服电机 | 77,5 |
| 线性编码器类型 | F(mm) | | 磁栅增量编码器 | 87 | | 磁栅绝对编码器 | 90 | | 光栅编码器 - 1Vpp | 81 | | 光栅编码器 - RS422 | 84 |
HLS-M2 series 
| 最大行程(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | N | 螺距 | | 75 | 256 | 99,5 | 86 | 60 | 2 | 1 or 5 | | 125 | 306 | 124,5 | 81 | 60 | 3 | 5 | | 175 | 356 | 149,5 | 76 | 60 | 4 | 5 |
| 电机类型 | A(mm) | | 步进电机 | 56,5 | | 低电感步进电机 | 60,5 | | 直流伺服电机 | 74,3 | | 无刷直流伺服电机 | 77,5 |
| 线性编码器类型 | F(mm) | | 磁栅增量编码器 | 87 | | 磁栅绝对编码器 | 90 | | 光栅编码器 - 1Vpp | 81 | | 光栅编码器 - RS422 | 84 |
HLS-M series
行程范围 | 丝杠导程 | 最大轴向负载 | 最大速度 | 最佳重复定位精度 | 典型应用 | | 35～235 mm | 1 mm
5 mm | 100 N | 200 mm/s | ±0.1 μm | • 自动化设备
• 精密检测设备
• 多轴运动平台 |
Hercules中型XY和小型Z组件 | Z轴行程(mm) | A(mm) | B(mm) | | 25 | 135 | 214,5 | | 50 | 135 | 227 | | 75 | 160 | 264,5 | | 100 | 160 | 277 | | 125 | 185 | 314,5 | | 150 | 185 | 327 |
Hercules中型XYZ组件 Z轴行程(mm)
1 carrier | Z轴行程(mm)
2 carriers | A(mm) | B(mm) | | 35 | - | 154 | 250 | | 85 | - | 184 | 305 | | 135 | 75 | 184 | 330 | | 185 | 125 | 214 | 385 | | 235 | 175 | 244 | 440 |
HLS-L1 series 
| 行程(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | N | | 50 | 220 | 97 | 84 | 100 | 1 | | 100 | 270 | 122 | 109 | 100 | 1 | | 200 | 370 | 172 | 109 | 100 | 2 | | 300 | 470 | 222 | 109 | 100 | 3 | | 400 | 570 | 272 | 109 | 100 | 4 | | 500 | 670 | 322 | 109 | 100 | 5 |
| 电机类型 | A(mm) | | 步进电机 | 67,8 | | 低电感步进电机 | 100,5 | | 直流伺服电机 | 87,6 | | 无刷直流伺服电机 | 69,5 |
| 线性编码器类型 | F(mm) | | 磁栅增量编码器 | 108 | | 磁栅绝对编码器 | 111 | | 光栅编码器 - 1Vpp | 103 | | 光栅编码器 - RS422 | 106 |
HLS-L2 series 
| 行程(mm) | B(mm) | C(mm) | D(mm) | E(mm) | N | | 105 | 370 | 134,5 | 109 | 100 | 2 | | 205 | 470 | 184,5 | 109 | 100 | 3 | | 305 | 570 | 234,5 | 109 | 100 | 4 | | 405 | 670 | 284,5 | 109 | 100 | 5 |
| 线性编码器类型 | F(mm) | | 磁栅增量编码器 | 108 | | 磁栅绝对编码器 | 111 | | 光栅编码器 - 1Vpp | 103 | | 光栅编码器 - RS422 | 106 |
HLS-L series 行程范围 | 丝杠导程 | 最大轴向负载 | 最大速度 | 最佳重复定位精度 | 典型应用 | | 50～500 mm | 5 mm
10 mm | 200 N | 300 mm/s | ±0.1 μm | • 半导体设备
• 重载精密定位
• 工业自动化系统 |
Hercules大型XY和中型Z组件 Z轴行程(mm)
1 carrier | Z轴行程(mm)
2 carriers | A (mm)
| B (mm) | | 35 | - | 184 | 280 | | 85 | - | 214 | 335 | | 135 | 75 | 214 | 360 | | 185 | 125 | 244 | 415 | | 235 | 175 | 274 | 470 |
Hercules大型XYZ组件 Z轴行程(mm)
1 carrier | Z轴行程(mm)
2 carriers | A
(mm) | B (mm) | | 50 | - | 226 | 350 | | 100 | - | 226 | 375 | | 200 | 105 | 276 | 475 | | 300 | 205 | 326 | 575 | | 400 | 305 | 376 | 675 | | 500 | 405 | 426 | 775 |
机械性能 导轨系统
采用哥特式圆弧导轨设计：
特点：
• 各方向负载能力均衡
• 高刚性
• 高精度
• 长寿命 | 双滑块设计
HLS-M 与 HLS-L 可选双滑块结构。
优点：
• 提高负载能力
• 提高抗倾覆能力
• 提高刚性
• 提高平面度与直线度 |
机械负载能力
| 参数 | HLS-S | HLS-M | HLS-L | | 动态负载 Fy/Fz | 1657 N | 2621 N | 7785 N | | 静态负载 Fy/Fz | 2960 N | 4959 N | 13774 N | | 动态轴向负载 Fx | 542 N | 584 N | 2162 N | | 静态轴向负载 Fx | 332 N | 369 N | 1758 N |
电机选项 | 项目 | 步进电机（Stepper） | 低电感步进电机（LIS） | 直流伺服电机（DC Servo） | 无刷直流伺服（BDC） | | 特点 | • 结构简单
• 成本低
• 无需反馈即可定位 | • 更高转速
• 更高动态性能 | • 平稳运行
• 高速度
• 闭环控制 | • 无刷结构
• 寿命长
• 维护量低 | | 适用于 | • 开环控制
• 常规自动化 | 高速应用 | | |
编码器选项 | 项目 | LM13 磁栅增量编码器 | LA11 磁栅绝对编码器 | Renishaw Atom 光栅编码器 | | 特点 | • RS422 或 1Vpp 输出
• 分辨率 0.244 μm
• 重复定位精度 ±0.5 μm
• 精度 ±10 μm/m | • BiSS-C / SSI 输出
• 绝对位置读取
• 分辨率 0.244 μm
• 重复定位精度 ±0.5 μm | • 分辨率 0.04 μm
• 重复定位精度 ±0.1 μm
• 回零重复精度 ±0.1 μm
• 精度 ±5 μm/m | | 适用于 | | | • 超高精度定位
• 光学系统
• 科研设备 |
定位性能 开环控制 | 参数 | HLS-S | HLS-M | HLS-L | | 最小增量运动 | 0.2 μm | 0.1 μm | 0.3 μm | | 单向重复定位 | ±1 μm | ±1 μm | ±1 μm | | 双向重复定位 | ±3 μm | ±3 μm | ±3 μm |
闭环控制（Atom 编码器） | 参数 | 数值 | | 分辨率 | 0.04 μm | | 最小增量运动 | ±0.1 μm | | 重复定位精度 | ±0.1 μm | | 回零重复精度 | ±0.1 μm |
| 项目 | 多轴系统 | 双滑块系统 | XY
双轴平台 | XYZ
三轴平台 | | 适用于 | • 二维扫描
• 平面定位 | • 样品操作
• 光学对准
• 自动化检测 | • 偏载安装
• 长工件支撑
• 高刚性要求 |
型号说明 | 项目 | HLS-S | HLS-M | HLS-L | | 格式 | HLS-S-1-100-2-S-Atom | HLS-M-1-235-5-LIS-LM13 | HLS-L-1-500-10-BDC-LA11 | | 含义 | • Hercules Small
• 单滑块
• 100 mm 行程
• 2 mm 导程
• 步进电机
• Atom 光栅编码器 | • Hercules Medium
• 单滑块
• 235 mm 行程
• 5 mm 导程
• 低电感步进电机
• LM13 磁栅编码器 | • Hercules Large
• 单滑块
• 500 mm 行程
• 10 mm 导程
• 无刷直流伺服
• LA11 绝对编码器 |
系列对比
| 项目 | HLS-S | HLS-M | HLS-L | | 行程范围 | 25–150 mm | 35–235 mm | 50–500 mm | | 最大负载 | 50 N | 100 N | 200 N | | 最大速度 | 100 mm/s | 200 mm/s | 300 mm/s | | 导程 | 2 mm | 1 / 5 mm | 5 / 10 mm | | 最佳重复定位精度 | ±0.1 μm | ±0.1 μm | ±0.1 μm | | 闭环编码器 | LM13 / LA11 / Atom | LM13 / LA11 / Atom | LM13 / LA11 / Atom | | 多轴系统 | XY / XYZ | XY / XYZ | XY / XYZ |
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