产品简介 AntRail eXtreme 系列微型电动线性平台专为真空、高真空及超高真空环境应用开发。该系列产品在超紧凑结构尺寸下实现了优异的承载能力和微米级定位性能，同时保持较高的性价比。平台支持通过预对准接口快速构建 X、XY 或 XYZ 多轴运动系统。采用不可逆预加载丝杠传动机构，可在断电状态下实现机械自锁并保持位置稳定；配备手动调节旋钮，便于设备安装和初始对准。通过采用真空兼容材料及干式润滑设计，可满足超高真空系统对洁净度、低放气率和长期可靠运行的要求。 采用不可逆丝杠（Non-Reversible Lead Screw）设计，即使电机断电仍可保持位置稳定。同时配置手动调节旋钮，方便安装和调试过程中进行手动定位。
典型应用
六自由度并联运动平台（6DOF Parallel Kinematic Manipulator）:
基于 AntRail-M 构建，可用于高真空环境中的精密定位系统。 |  |
UHV 四轴闭环测角仪（4-Axis Closed-Loop Goniometer）:
采用两套 AntRail-S-Cloop YZ 双轴机构，实现光学元件在精密万向节中心的超高真空对准。 |  |
ARX-S-V  | 技术说明： 真空等级：10-6 mbar 烘烤温度：80°C 集成回零传感器 Kapton 绝缘编织电缆 干式预加载丝
|
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 13 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-S-HV/UHV  | 技术说明：
HV：10-7 mbar
UHV：10-9 mbar
烘烤温度：110°C
集成回零传感器
真空馈通连接
干式预加载丝杠
|
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 13 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-S-CLOOP-HV OR UHV  | 技术说明
• 高真空(HV)可达10-7 mbar
• 超高真空(UHV)可达10-9 mbar
• 烘烤温度高达110°C
• 集成归位传感器
• 带真空穿板的聚酰亚胺绝缘编织电缆
• 干式预紧丝杠 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 13 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-M-V  | 技术说明:
HV 型号满足10-7 mbar 高真空应用要求；
UHV 型号满足10-9 mbar 超高真空应用要求；
系统允许最高 110°C 真空烘烤除气（Bake-out）；
真空侧配备 Kapton 绝缘编织电缆，通过真空馈通接口实现电气连接；
采用干式预加载丝杠传动机构，无需油脂润滑，可满足超高真空环境下低放气率和长期稳定运行要求。 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 26 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-M-HV OR UHV  | 技术说明:
HV 型号满足10-7 mbar 高真空应用要求；
UHV 型号满足10-9 mbar 超高真空应用要求；
系统允许最高 110°C 真空烘烤除气（Bake-out）；
真空侧配备 Kapton 绝缘编织电缆，通过真空馈通接口实现电气连接；
内置回零传感器
采用干式预加载丝杠传动机构，无需油脂润滑，可满足超高真空环境下低放气率和长期稳定运行要求。 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 26 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-M-CLOOP-HV OR UHV  | 技术说明:
HV 型号满足10-7 mbar 高真空应用要求；
UHV 型号满足10-9 mbar 超高真空应用要求；
系统允许最高 110°C 真空烘烤除气（Bake-out）；
真空侧配备 Kapton 绝缘编织电缆，通过真空馈通接口实现电气连接；
内置回零传感器
采用干式预加载丝杠传动机构，无需油脂润滑，可满足超高真空环境下低放气率和长期稳定运行要求。 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 26 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-L  | 技术说明
• 真空可达10-6 mbar
• 烘烤温度可达80°C
• 集成回原点传感器
• Kapton绝缘编织电缆至真空穿透
• 干预载预压丝杠 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 52 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-L-HV OR UHV  | 技术说明
• 高真空(HV)可达10-7 mbar
• 超高真空(UHV)可达10-9 mbar
• 烘烤温度可达110°C
• 集成归位传感器
• 至真空穿墙处的聚酰亚胺绝缘编织电缆
• 干式预紧丝杠 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 52 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-XL-V  | 技术说明
• 真空可达10-6 mbar
• 烘烤温度可达80°C
• 集成回原位传感器
• Kapton绝缘编织电缆至真空穿透
• 干预载螺杆 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 104 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
ARX-XL-HV OR UHV  | 技术说明
• 高真空(HV)可达10-7 mbar
• 超高真空(UHV)可达10-9 mbar
• 烘烤温度可达110°C
• 集成归位传感器
• 至真空穿墙处的聚酰亚胺绝缘编织电缆
• 干式预紧丝杠 |
| 参数 | 数值 | 单位 | | 行程 | 104 | mm | | 负载能力（Fz、Fy） | 30 | N | | 轴向负载能力（Fx） | 10
| N | | 允许力矩（Mx、My、Mz） | 6 | Nm | | 单向重复定位精度（2σ） | ＜1 | μm | | 双向重复定位精度（2σ） | ＜10 | μm | | 最小运动步长 | 0.1 | μm | | 电机全步对应位移 | 9.61 | μm | | 最大速度 | 20 | mm/s |
|
你所在的位置:
